በሴሚኮንዳክተር (ኤፍኤቢ) ንጹህ ክፍል ውስጥ ያለው አንጻራዊ የእርጥበት መጠን ዒላማ እሴት

በሴሚኮንዳክተር (ኤፍኤቢ) ንፁህ ክፍል ውስጥ ያለው አንጻራዊ የእርጥበት መጠን ከ30 እስከ 50 በመቶ የሚደርስ ሲሆን ይህም እንደ ሊቶግራፊ ዞን ያለ ጠባብ የስህተት ህዳግ ±1% ይፈቅዳል - ወይም በሩቅ አልትራቫዮሌት ማቀነባበሪያ (DUV) ውስጥ ዞን - በሌላ ቦታ ደግሞ ወደ ± 5% ዘና ማለት ይቻላል.
ምክንያቱም አንጻራዊ የእርጥበት መጠን የንጹህ ክፍሎችን አጠቃላይ አፈጻጸም የሚቀንሱ የተለያዩ ምክንያቶች አሉት፡-
1. የባክቴሪያ እድገት;
2. ለሠራተኞች ክፍል የሙቀት መጠን ምቾት;
3. ኤሌክትሮስታቲክ ክፍያ ይታያል;
4. የብረት ዝገት;
5. የውሃ ትነት ኮንደንስ;
6. የሊቶግራፊ መበስበስ;
7. የውሃ መሳብ.

ከ 60% በላይ አንጻራዊ የእርጥበት መጠን ባለባቸው አካባቢዎች ውስጥ ባክቴሪያዎች እና ሌሎች ባዮሎጂካል ብክሎች (ሻጋታ, ቫይረሶች, ፈንገሶች, ሚትስ) ሊበቅሉ ይችላሉ. አንዳንድ የባክቴሪያ ማህበረሰቦች ከ 30% በላይ አንጻራዊ በሆነ እርጥበት ማደግ ይችላሉ. ኩባንያው ከ 40% እስከ 60% ባለው ክልል ውስጥ የእርጥበት መጠን መቆጣጠር እንዳለበት ያምናል, ይህም የባክቴሪያ እና የመተንፈሻ አካላት ተጽእኖን ይቀንሳል.

ከ 40% እስከ 60% ባለው ክልል ውስጥ ያለው አንጻራዊ የእርጥበት መጠን እንዲሁ ለሰብአዊ ምቾት መጠነኛ ክልል ነው. ከመጠን በላይ እርጥበት ሰዎች የመጨናነቅ ስሜት እንዲሰማቸው ሊያደርግ ይችላል, ከ 30% በታች የሆነ እርጥበት ደግሞ ሰዎች ደረቅ, የተመሰቃቀለ ቆዳ, የመተንፈስ ችግር እና ስሜታዊ ደስታ እንዲሰማቸው ያደርጋል.

ከፍተኛ እርጥበት በእውነቱ የኤሌክትሮስታቲክ ክፍያዎችን በንፅህና ወለል ላይ ያለውን ክምችት ይቀንሳል - የሚፈለገውን ውጤት. ዝቅተኛ እርጥበት ለክፍያ ክምችት እና ሊጎዳ የሚችል የኤሌክትሮስታቲክ ፍሳሽ ምንጭ ተስማሚ ነው. አንጻራዊው እርጥበት ከ 50% በላይ በሚሆንበት ጊዜ የኤሌክትሮስታቲክ ክፍያዎች በፍጥነት መበታተን ይጀምራሉ, ነገር ግን አንጻራዊው እርጥበት ከ 30% በታች ከሆነ, በሙቀት መከላከያ ወይም ባልተሸፈነ መሬት ላይ ለረጅም ጊዜ ሊቆዩ ይችላሉ.

በ 35% እና 40% መካከል ያለው አንጻራዊ የእርጥበት መጠን እንደ አጥጋቢ ስምምነት ሊያገለግል ይችላል, እና ሴሚኮንዳክተር ንጹህ ክፍሎች በአጠቃላይ የኤሌክትሮስታቲክ ክፍያዎችን ክምችት ለመገደብ ተጨማሪ መቆጣጠሪያዎችን ይጠቀማሉ.

የዝገት ሂደቶችን ጨምሮ የበርካታ ኬሚካላዊ ምላሾች ፍጥነት በአንፃራዊ እርጥበት መጨመር ይጨምራል. በንፁህ ክፍል ዙሪያ ለአየር የተጋለጡ ሁሉም ገጽታዎች ፈጣን ናቸው.